DECOMPOSITION KINETICS OF OMVPE PRECURSORS

被引:71
作者
LARSEN, CA
STRINGFELLOW, GB
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(86)90034-5
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
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页码:247 / 254
页数:8
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