TRANSITION-METALS IN SILICON

被引:1062
作者
WEBER, ER
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1983年 / 30卷 / 01期
关键词
D O I
10.1007/BF00617708
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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