共 11 条
MORPHOLOGY AND CHARGE CAPACITY OF SPUTTERED IRIDIUM OXIDE-FILMS
被引:38
作者:
KLEIN, JD
CLAUSON, SL
COGAN, SF
机构:
来源:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1989年
/
7卷
/
05期
关键词:
D O I:
10.1116/1.576313
中图分类号:
TB3 [工程材料学];
学科分类号:
0805 ;
080502 ;
摘要:
引用
收藏
页码:3043 / 3047
页数:5
相关论文