STRESS MEASUREMENT IN THIN-FILMS BY GEOMETRICAL-OPTICS

被引：15

作者：

ROSSNAGEL, SM

GILSTRAP, P

RUJKORAKARN, R

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571863

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1045 / 1046

页数：2

共 6 条

[1]

CAMBELL DS, 1962, 9TH T NATL VAC S, P29

[2]

CAMBELL DS, 1970, HDB THIN FILM TECHNO, P12

[3]

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[4]

GILSTRAP P, COMMUNICATION

GLANG, R ;

HOLMWOOD, RA ;

ROSENFELD, RL .

THORNTON, JA ;

TABOCK, J ;

HOFFMAN, DW .