QUANTITATIVE DEPTH PROFILE AND BULK ANALYSIS WITH HIGH DYNAMIC-RANGE BY ELECTRON-GAS SPUTTERED NEUTRAL MASS-SPECTROMETRY

被引:93
作者
JEDE, R
PETERS, H
DUNNEBIER, G
GANSCHOW, O
KAISER, U
SEIFERT, K
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.575023
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:2271 / 2279
页数:9
相关论文
共 29 条