SIO2-SI INTERFACE FORMATION BY CATALYTIC-OXIDATION USING ALKALI-METALS AND REMOVAL OF THE CATALYST SPECIES

被引：83

作者：

SOUKIASSIAN, P

GENTLE, TM

BAKSHI, MH

HURYCH, Z

机构：

[1] DOW CHEM CO,MIDLAND,MI 48640

[2] NO ILLINOIS UNIV,DEPT PHYS,DE KALB,IL 60115

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1986年 / 60卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.337485

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：4339 / 4341

页数：3

相关论文

共 21 条

[21] ALL-ELECTRON LOCAL-DENSITY THEORY OF ALKALI-METAL BONDING ON TRANSITION-METAL SURFACES - CS ON W(001) [J].

WIMMER, E ;

FREEMAN, AJ ;

HISKES, JR ;

KARO, AM .

PHYSICAL REVIEW B, 1983, 28 (06) :3074-3091