EFFECT OF STOICHIOMETRIC DISTURBANCES IN AIIIBV COMPOUNDS DURING ION-IMPLANTATION

被引：6

作者：

MAKSIMOV, SK

EGOROV, VL

KRYUK, VV

PISKUNOV, DI

PITIRIMOVA, EA

VESELOV, VF

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1982年 / 73卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210730273

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：K283 / K285

页数：3

共 4 条

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