SMALL GEOMETRY MOS-TRANSISTOR CAPACITANCE MEASUREMENT METHOD USING SIMPLE ON-CHIP CIRCUITS

被引：4

作者：

ORISTIAN, J

IWAI, H

WALKER, J

DUTTON, R

机构：

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1984年 / 5卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1984.25961

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：395 / 397

页数：3

相关论文

共 1 条

[1] ON-CHIP CAPACITANCE MEASUREMENT CIRCUITS IN VSLI STRUCTURES [J].

IWAI, H ;

KOHYAMA, S .

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 1982, 29 (10) :1622-1626