INFLUENCE OF GROWTH-CONDITIONS ON DEPOSITION OF THICK EPITAXIAL (100) ZNS LAYERS IN HC1-H2 GAS-FLOW

被引:10
作者
KAY, PMR [1 ]
LILLEY, P [1 ]
LITTING, CNW [1 ]
机构
[1] UNIV MANCHESTER,ELECT ENGN LABS,MANCHESTER M13 9PL,ENGLAND
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/7/9/306
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1206 / &
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