REACTIVE ION ETCHING OF TANTALUM PENTOXIDE

被引：16

作者：

SEKI, S

UNAGAMI, T

TSUJIYAMA, B

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1983年 / 130卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2119624

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：2505 / 2506

页数：2

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