CHANGES IN PHASE STRUCTURE AND FORMATION OF CHEMICAL COMPOUNDS BY ION-IMPLANTATION OF TANTALUM THIN-FILMS

被引:30
作者
WILSON, IH [1 ]
GOH, KH [1 ]
STEPHENS, KG [1 ]
机构
[1] UNIV SURREY,DEPT ELECTR & ELECT ENGN,GUILDFORD,SURREY,ENGLAND
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(76)90081-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:205 / 218
页数:14
相关论文
共 11 条