CHARACTERIZATION OF INDIVIDUAL ELECTRON TRAPS IN AMORPHOUS SI BY TELEGRAPH NOISE SPECTROSCOPY

被引:37
作者
ROGERS, CT [1 ]
BUHRMAN, RA [1 ]
KROGER, H [1 ]
SMITH, LN [1 ]
机构
[1] MICROELECTR & COMP TECHNOL CORP,AUSTIN,TX 78727
关键词
D O I
10.1063/1.97436
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1107 / 1109
页数:3
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