SELF-SPUTTERING PHENOMENA IN HIGH-RATE COAXIAL CYLINDRICAL MAGNETRON SPUTTERING

被引：49

作者：

HOSOKAWA, N ^{[1
]}

TSUKADA, T ^{[1
]}

MISUMI, T ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON ELECT VARIAN LTD,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569107

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：4