LIGHT-SCATTERING EFFECTS IN CPM AND PDS MEASUREMENT ON A-SI-H FILMS

被引:10
作者
FAVRE, M [1 ]
CURTINS, H [1 ]
VANECEK, M [1 ]
机构
[1] CZECHOSLOVAK ACAD SCI, INST PHYS, CS-18040 PRAGUE 8, CZECHOSLOVAKIA
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(89)90599-1
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:405 / 407
页数:3
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