EVALUATION OF SURFACE STATE AT OXIDIZED SILICON FROM CHARACTERISTICS OF SURFACE VARACTOR DIODE

被引:4
作者
HORIUCHI, S
YAMAGUCHI, J
SHIBATA, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.4.394
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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