NEGATIVE-ION SOURCE (NIABNIS) AND PREPARATION OF TRANSPARENT CARBON-FILMS BY NEGATIVE CARBON ION-BEAM DEPOSITION

被引:25
作者
ISHIKAWA, J
OGAWA, K
MIYATA, K
TSUJI, H
TAKAGI, T
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(87)90827-5
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页码:205 / 208
页数:4
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