PHYSICAL PROCESSES IN DEGRADATION OF AMORPHOUS SI-H

被引:22
作者
REDFIELD, D [1 ]
机构
[1] RCA LABS,PRINCETON,NJ 08540
关键词
D O I
10.1063/1.96687
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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