STRUCTURE OF REACTIVELY MAGNETRON SPUTTERED HF-N FILMS

被引:49
作者
JOHANSSON, BO
SUNDGREN, JE
HELMERSSON, U
HIBBS, MK
机构
关键词
D O I
10.1063/1.94871
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:670 / 672
页数:3
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