EFFECT OF RESIST PATTERNING ON GATE OXIDE INTEGRITY IN SOURCE DRAIN IMPLANT

被引：11

作者：

TONG, R

MCNALLY, P

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90660-3

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：376 / 381

页数：6

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共 5 条

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