EXPERIMENTAL-DETERMINATION OF CURRENT PATHS OF IONS IMPLANTED INTO INSULATORS

被引：10

作者：

WADA, Y ^{[1
]}

SATO, K ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI,TOKYO,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 15卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.15.2289

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：2289 / 2290

页数：2

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