CHARACTERISTICS OF A LARGE-VOLUME RF-GRID DISCHARGE PLASMA

被引：6

作者：

SCHUMACHER, RW ^{[1
]}

HERSHKOWITZ, N ^{[1
]}

MACKENZIE, KR ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF,DEPT PHYS,LOS ANGELES,CA 90024

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 47卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1063/1.322675

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：886 / 893

页数：8

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共 11 条

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