AUTOMATED LASER INTERFEROMETRIC ELLIPSOMETRY AND PRECISION REFLECTOMETRY

被引:24
作者
HAZEBROEK, HF
VISSER, WM
机构
来源
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1983年 / 16卷 / 07期
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/16/7/022
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:654 / 661
页数:8
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