SIMPLE AUTOMATIC ELLIPSOMETER FOR A WIDE ENERGY-RANGE

被引：12

作者：

HUNDERI, O ^{[1
]}

RYBERG, R ^{[1
]}

机构：

[1] CHALMERS UNIV TECHNOL,DEPT PHYS,S-40220 GOTEBORG 5,SWEDEN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(76)90445-3

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：182 / 188

页数：7

共 5 条

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