STRUCTURAL MODIFICATIONS OF SILICON-NITRIDE AS EFFECTED BY TEMPERATURE

被引：46

作者：

BILLY, M

LABBE, JC

SELVARAJ, A

ROULT, G

机构：

来源：

MATERIALS RESEARCH BULLETIN | 1983年 / 18卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1016/0025-5408(83)90003-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：921 / 934

页数：14

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