NEUTRAL BEAM INJECTOR OXYGEN IMPURITY MEASUREMENTS AND CONCENTRATION REDUCTION VIA GETTERING PROCESSES

被引：1

作者：

KANE, RJ

HSU, WL

KERR, RG

MILLS, BE

POULSEN, P

HIBBS, S

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573122

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1081 / 1084

页数：4