SUPRESSION OF EXCITED SPECIES FROM SPUTTER-ION PUMP BY A ZEOLITE TRAP

被引：5

作者：

BARRINGTON, AE

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1965年 / 36卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1719621

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：549 / +

页数：1

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共 2 条

[1]

BARRINGTON AE, 1963, HIGH VACUUM ENGINEER, P101

[2] SPUTTERING ION SOURCE FOR SOLIDS [J].

LIEBL, HJ ;

HERZOG, RFK .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1963, 34 (09) :2893-&