INTEGRATED-CIRCUIT REPAIR USING FOCUSED ION-BEAM MILLING

被引：88

作者：

HARRIOTT, LR

WAGNER, A

FRITZ, F

机构：

[1] AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ,, USA, AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ, USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583433

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：181 / 184

页数：4

共 4 条

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