EPITAXIAL SILICON THIN FILMS

被引:6
作者
MILLER, KJ
MANZ, RC
GRIECO, MJ
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2425515
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:643 / 645
页数:3
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共 5 条
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