EFFECT OF INTERFACES UPON ATOMIC DIFFUSION - SI AND ZN IN GAAS

被引:22
作者
VANVECHTEN, JA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.582839
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:569 / 572
页数:4
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