HYDROGEN PLASMA INTERACTIONS WITH TIN OXIDE SURFACES

被引：54

作者：

SCHADE, H

SMITH, ZE

THOMAS, JH

CATALANO, A

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1984年 / 117卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(84)90087-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：149 / 155

页数：7

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共 12 条

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THOMAS, JH
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