REDUCTION OF DISLOCATION DENSITIES IN HETEROEPITAXIAL III-V VPE SEMICONDUCTORS

被引:64
作者
OLSEN, GH [1 ]
ABRAHAMS, MS [1 ]
BUIOCCHI, CJ [1 ]
ZAMEROWSKI, TJ [1 ]
机构
[1] RCA LABS,PRINCETON,NJ 08540
关键词
D O I
10.1063/1.321766
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1643 / 1646
页数:4
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