ETCH PITS OBSERVED IN DISLOCATION-FREE SILICON CRYSTALS

被引：58

作者：

ABE, T

SAMIZO, T

MARUYAMA, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.5.458

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：458 / &

共 7 条

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