EFFECTS OF DEPOSITION CONDITIONS ON PROPERTIES OF A-SI1-XCX-H DIAGNOSED USING OPTICAL-EMISSION SPECTROSCOPY

被引：11

作者：

YOSHIMOTO, M

AIZAWA, K

FUYUKI, T

MATSUNAMI, H

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.1465

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1465 / 1469

页数：5