DESIGN AND PERFORMANCE OF A QUARTZ OSCILLATOR VACUUM GAUGE WITH A CONTROLLER

被引：20

作者：

ONO, M ^{[1
]}

HIRATA, M ^{[1
]}

KOKUBUN, K ^{[1
]}

MURAKAMI, H ^{[1
]}

TAMURA, F ^{[1
]}

HOJO, H ^{[1
]}

KAWASHIMA, H ^{[1
]}

KYOGOKU, H ^{[1
]}

机构：

[1] SEIKO INST & ELECTR LTD,KOTO,TOKYO 136,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573012

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1746 / 1749

页数：4