NEW TRANSISTOR WITH 2-LEVEL METAL-ELECTRODES

被引：38

作者：

SAIKI, A ^{[1
]}

HARADA, S ^{[1
]}

OKUBO, T ^{[1
]}

MUKAI, K ^{[1
]}

KIMURA, T ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI,TOKYO 185,JAPAN

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1977年 / 124卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2133121

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1619 / 1622

页数：4

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共 2 条

[1] HARADA S, 1974, 6TH P C SOL STAT DEV, P297
[2] NOVEL PLANAR MULTILEVEL INTERCONNECTION TECHNOLOGY UTILIZING POLYIMIDE
SATO, K
HARADA, S
SAIKI, A
KIMURA, T
OKUBO, T
MUKAI, K
[J]. IEEE TRANSACTIONS ON PARTS HYBRIDS AND PACKAGING, 1973, PHP9 (03): : 176 - 180