PLASMA CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF THIN PLATINUM FILMS

被引：13

作者：

FEURER, E

KRAUS, S

SUHR, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576182

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2799 / 3802

页数：1004

共 29 条

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