EFFECT OF SOME ELEMENTS AND TEMPERATURE ON THE SURFACE SEGREGATION OF BORON-NITRIDE

被引：13

作者：

MINAMI, Y

TOHYAMA, A

YAMADA, T

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576054

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1585 / 1588

页数：4

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共 2 条

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