THIN FILM THICKNESS DISTRIBUTION BY ALPHA-ABSORPTION

被引:12
作者
DECROES, M
PARKER, W
SEVIER, K
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1960年 / 7卷 / 02期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(60)90121-X
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
收藏
页码:160 / 166
页数:7
相关论文
共 10 条