共 72 条
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BARRIERS AGAINST COPPER DIFFUSION INTO SILICON AND DRIFT THROUGH SILICON DIOXIDE
被引：186
作者：
WANG, SQ
机构：
关键词：
D O I：
10.1557/S0883769400047710
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
[No abstract available]
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页数：11
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