SPIN-COATED AS2S3 - A BARRIER LAYER FOR HIGH-RESOLUTION TRILAYER RESIST SYSTEM

被引：11

作者：

SINGH, B ^{[1
]}

CHERN, GC ^{[1
]}

LAUKS, I ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV PENN,MOORE SCH ELECT ENGN,CTR CHEM ELECTR,DEPT ELECT ENGN,PHILADELPHIA,PA 19104

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583256

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：327 / 330

页数：4