INSITU IN ETCHING TECHNIQUE FOR LPE INP

被引：31

作者：

WRICK, V

SCILLA, GJ

EASTMAN, LF

HENRY, RL

SWIGGARD, EM

机构：

[1] CORNELL UNIV,ITHACA,NY 14853

[2] USN,RES LABS,WASHINGTON,DC 20375

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19760302

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：394 / 395

页数：2

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共 5 条

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