POLARIZATION AND DEPOLARIZATION IN PSG FILMS

被引：4

作者：

KASPRZAK, L ^{[1
]}

HORNUNG, A ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST PROD DIV LAB,E FISHKILL,NY 12533

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.192.0127

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：127 / 132

页数：6

共 3 条

[1] PHOSPHOSILICATE GLASS STABILIZATION OF FET DEVICES [J].

BALK, P ;

ELDRIDGE, JM .

ELDRIDGE, JM ;

LAIBOWITZ, RB ;

BALK, P .

SNOW, EH ;

DEAL, BE .