ION-BOMBARDMENT SECONDARY-ELECTRON MAINTENANCE OF STEADY RF DISCHARGE

被引:185
作者
GODYAK, VA
KHANNEH, AS
机构
关键词
D O I
10.1109/TPS.1986.4316513
中图分类号
O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ; 080103 ; 080704 ;
摘要
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页数:12
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