SMALL MICROWAVE PLASMA SOURCE FOR LONG COLUMN PRODUCTION WITHOUT MAGNETIC-FIELD

被引:184
作者
MOISAN, M [1 ]
BEAUDRY, C [1 ]
LEPRINCE, P [1 ]
机构
[1] UNIV MONTREAL,DEPT PHYS,MONTREAL 101,QUEBEC,CANADA
关键词
D O I
10.1109/TPS.1975.4316875
中图分类号
O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ; 080103 ; 080704 ;
摘要
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