FABRICATION TECHNIQUES FOR NANOMETER SCALE RESISTORS - A POOR MANS NANOLITHOGRAPHY

被引：9

作者：

GARFUNKEL, GA ^{[1
]}

WEISSMAN, MB ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,DEPT PHYS,URBANA,IL 61801

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584921

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1087 / 1092

页数：6

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