THERMAL ETCHING EFFECT OF INP SUBSTRATE IN LPE SATURATION PROCESS

被引：22

作者：

PAK, K ^{[1
]}

NISHINAGA, T ^{[1
]}

UCHIYAMA, S ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECT ENGN,NAGOYA,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1975年 / 14卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.14.1613

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1613 / 1614

页数：2

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