MEV SI IMPLANTATION IN GAAS

被引：22

作者：

THOMPSON, PE ^{[1
]}

DIETRICH, HB ^{[1
]}

INGRAM, DC ^{[1
]}

机构：

[1] UNIVERSAL ENERGY SYST,DAYTON,OH 45432

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90647-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：287 / 291

页数：5

共 6 条

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