THE PERCOLATION APPROACH TO THE DEVELOPMENT OF PULSED LASER EXPOSED POSITIVE PHOTORESISTS

被引：4

作者：

BOGDANOV, AL

VALIEV, KA

VELIKOV, LV

ZAROSLOV, DY

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583911

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：391 / 395

页数：5

共 5 条

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