PROTON IMPLANTATION ISOLATION FOR MICROWAVE MONOLITHIC CIRCUITS

被引：6

作者：

ESFANDIARI, R

FENG, M

KANBER, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1983.25636

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：29 / 31

页数：3

共 8 条

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