ISS IMAGING AND DEPTH-PROFILE ANALYSIS USING BEAM RASTERING AND SIGNAL GATING

被引：15

作者：

RUSCH, TW ^{[1
]}

MCKINNEY, JT ^{[1
]}

LEYS, JA ^{[1
]}

机构：

[1] 3M,ST PAUL,MN 55101

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568800

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：400 / 402

页数：3

共 6 条

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